中古 STAUBLI TX90 XLSCRfsi2 #9294303 を販売中

STAUBLI TX90 XLSCRfsi2は、半導体製造における高いスループットと精度のニーズに応えるために設計されたウェハハンドラです。6軸の中型ロボットプラットフォームで、優れた性能、互換性、再現性を提供します。STAUBLI TX90は、安定性とモーションコントロールを提供する堅牢で耐久性のあるベースフレーム上に構築されています。6軸の各軸を同時に誘導制御する高度なポジションコントローラを搭載し、マニピュレータアームをスムーズかつ正確に動かすことができます。制御システムは、動作中に各軸の位置を計算し、監視することができます。ロボットは環境保護を提供するためにステンレス鋼のエンクロージャで囲まれます。STAUBLI TX90は、直径12インチまでのウェーハを扱うように設計されています。モーター駆動のプラットフォームヘッドを備えており、さまざまなウェーハサイズを受け入れるように構成することができます。ロボットアームは、ウェーハを保持し操作するために手首に取り付けられたエンドエフェクターを備えています。精密リニアモーションガイドと高トルクドライブを搭載し、高い精度でロボットを動かすことができます。STAUBLI TX90は、要求の厳しい生産アプリケーションに高いレベルの性能と信頼性を提供します。ロボットのサイクルタイムは0。3秒、再現性は± 0。004"です。ロボットは、既存の生産ラインに簡単かつ効果的に統合することができます。それに44ポンドまでの最大ペイロード容量があり、0-40°C。の温度較差で働くことができます。STAUBLI TX90は半導体業界の要求を満たすように設計されており、ウェーハ転送などのアプリケーションに最適であり、欠陥のないウェーハ処理を保証します。ロボットアームの高度な機能により、高スループット、高精度の半導体加工に最適です。