中古 STAUBLI TX60 #9258521 を販売中

STAUBLI TX60 Wafer Handlerは、繊細なウエハなどの基板を自動処理するロボット機器です。この最先端のデバイスは、優れた自動化、柔軟性、およびウェーハ処理と処理のための安全性を提供します。熱処理、コーティング、ピック&プレス、マスクアライナー、インプリントリソグラフィなどのウェハ加工アプリケーションに最適です。ウェーハハンドラは多軸アームで構成されており、基板の調整や操作を優れた精度で行うことができます。このアームは、高いトルクと印象的な速度を提供する高度なサーボモータによって駆動されます。さらに、強力なリニアアクチュエータを内蔵しており、最大5軸での正確な移動を可能にします。このウェハハンドラの精度は、エンコーダとリミットスイッチを使用してアームと基板の位置を検出することによって達成されます。さらに精度を高めるために、機械は専用の力とトルク機能を備えています。これにより、脆弱なウェーハや基板のより穏やかで安全な転送が可能になります。また、高付加価値プロセスの処理におけるツールの信頼性を高めます。TX60ウェーハハンドラーは、優れた安全性を提供します。これには、ハンドリング中にウェーハグリッパーとウェーハの間のクロスを防ぐモーションプロトコルが含まれており、ウェーハの完全性が損なわれることはありません。ウェーハの安全性をさらに確保するために、アセットは、グリッピングエラーを防ぐ特殊なセンサーで構成することができます。その優れた安全機能に加えて、モデルは、優れた汎用性と性能を提供しています。ほとんどのウェーハグリッパーと互換性があり、幅広いウェーハサイズをサポートし、プログラム可能な速度と力制御を提供します。これにより、ユーザーはウェーハの感度に応じて速度と力を調整することができます。さらに、この装置は優れた柔軟性を提供し、さまざまな種類の基板処理ニーズに対応できます。STAUBLI TX60 Wafer Handlerは、柔軟な操作と優れた性能を提供する堅牢で信頼性の高いデバイスです。あらゆる種類のウェーハ処理アプリケーションに最適な精度、安全性、柔軟性を兼ね備えています。