中古 STAUBLI TX60 #9191514 を販売中

STAUBLI TX60は、半導体製造のために設計された先進的なウェーハ処理装置です。直径300mmまでのウェーハ加工が可能です。このウェーハマニピュレータは、最大60個のウェーハに対応できる高精度のモーションコントロールパイプラインを備えており、ウェーハを1つのステーションから別のステーションに素早く正確に転送できます。TX60の主体は、2つの独立した軸で連結することができる2つのサーボ駆動アームで構成されています。これにより、安定性と精度を維持しながら、正確な動きを可能にします。腕は腕の間の単一の線形軸線によって補完され、単位に30度以上全体の動き範囲を与えます。主軸には、ウェーハの安全な取り扱いのための真空クランプ機も装備しています。STAUBLI TX60はSTAUBLI独自のCNC-ICツールによって制御されています。これにより、誤差マージンが非常に低い多種多様な運動軌道が可能になり、正確で一貫したプロセスが保証されます。また、ミスアライメントと変形を検出できる2つのセンサーを内蔵しており、高速かつ正確な補正が可能です。さらに、TX60は直感的なコントロールパネルを備え、4つのタッチセンシティブボタン、クリアディスプレイ、グラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。これにより、ユーザーは機器の操作を監視し、プロセスを設定することが容易になります。また、ウェーハハンドリングを向上させる6軸マニピュレータや、ウェーハソートなどのさまざまな機能の追加モジュールなど、他のコンポーネントも統合されています。STAUBLI TX60は、最高の精度とパフォーマンスを実現する高度なウエハハンドリングユニットです。モーションコントロール機能、センサー、直感的なユーザーインターフェースを組み合わせることで、半導体製造に最適です。堅牢で信頼性の高いコンポーネントにより、機械は最も要求の厳しい要件を確実に満たします。