中古 STAUBLI TX60 L #293768326 を販売中

STAUBLI TX60 Lは、半導体製造に使用される最先端のウェハハンドラです。この高度なウェーハハンドリング自動化機器は、高精度のウェーハ転送制御を提供し、半導体ファブ内の生産プロセスを最適化するのに役立ちます。このシステムは、信頼性の高いサーボ駆動のSTAUBLI MPS-6多軸ポジショニングユニットによって駆動されます。STAUBLI TX60Lは、8インチ、12インチ、およびそれ以上のさまざまなウエハサイズのシングルアペラチャーロードポートを最大10個までサポートできます。最大4本のロボットアームをサポートし、効率的かつ同時真空ウェーハのローディングとアンロードをサポートします。TX60 Lはスキャンおよびロード機能も備えており、ウェーハを転送する前にウェーハの存在を自動的に検出することができます。これは、さまざまなロボットパスをサポートするように構成することができます、ウエハ転送をカスタマイズ、アライメントと操作プロセス。人間工学に基づいたグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を搭載し、リモートマシンの監視を容易にします。また、高精度と再現性のためのアライメントツールも含まれています。さらに、拡張可能なアーキテクチャにより、オペレータはトランスファーアーム、ロードポート、ワークステーションなどのコンポーネントを簡単に追加できます。TX60Lは、高度な安全機能を備えており、運用安全性を向上させています。STAUBLI Safety Asset （SSS1002）を搭載し、ロボットEN ISO 13849-1の国際的に認められた安全規格に準拠しています。さらに、STAUBLI TX60 Lは、環境汚染を最小限に抑え、敏感なウェハを取り扱う際の製品の損傷を最小限に抑えるように設計されています。高度なウエハハンドリング真空モデルにより、空気漏れを防止しながら正確なプロセスを保証します。全体として、汎用性の高いSTAUBLI TX60Lは、半導体産業におけるウェーハハンドリングオートメーションの需要の増加に対応しています。精密なウェーハ移動、生産性の向上、安全性の向上を実現し、半導体運転に最適です。