中古 STAUBLI STS 100-82 #178863 を販売中

Stäubli STAUBLI STS 100-82ウェーハハンドラは、半導体生産ラインにおけるウェーハ基板の精密積み下ろしを容易にするために設計された特殊なロボット装置です。STS 100-82は、半導体生産環境におけるウェーハの手動ロードおよびアンロード用に設計されています。それは2つの独立した腕を備えており、それぞれ2つの軸の動きをサポートしています。ベースはロープロファイルスタンドに取り付けられているため、ロークリアランスの設置に最適です。高精度なセンサやコントローラを使用して動作するため、非常に高い精度でウェーハ処理を行うことができます。ユーザーは、ウェーハ上の圧力だけでなく、腕の速度や動きを調整するためにロボットをプログラムすることができます。この装置は、最大8つのウェーハを同時に把握して解放することができます。このシステムには高解像度カメラが内蔵されており、生産開始前にウエハ基板を適切に配置することができます。これにより、基板プロセスの潜在的なエラーを最小限に抑えることができます。STAUBLI STS 100-82ウエハハンドラの配置精度は、X軸とY軸の±3.2µm偏差、Z軸の± 0。02mmと優れています。これにより、ウエハプロセスに基板のずれがないことが保証されます。ロボットのプリプログラミングは、生産の起動を自動化するために保存および再ロードすることもできます。これによりセットアップ時間を最小限に抑え、異なる生産要件の間で正確かつ迅速な切り替えが可能になります。ロボットは、プログラミングのグラフィカルユーザーインターフェイスを介して命令することができます。ユーザーは、このインターフェイスを使用してロボットと対話することができます、速度と加速度の調整と位置制御のためのコマンドが含まれています。このユニットには、制御されていない動きから保護する安全コントローラも装備されており、一般的な障害が発生した場合は自動的に安全シャットダウンを実行します。これにより、オペレータの安全性とロボットマシンの安定性が保証されます。全体として、Stäubli STS 100-82ウェハンドラは、半導体業界の精密ウェハハンドリングプロセスに最適です。このツールは、高い再現性の精度、グラフィカルユーザーインターフェイス、および包括的な安全コンポーネントを提供します。自動化されたプリプログラミング機能は、セットアップ時間を短縮し、合理化されたワークフローを提供し、最終的にダウンタイムを最小限に抑え、生産性を向上させます。