中古 STAUBLI RX90B CR #9209736 を販売中

STAUBLI RX90B CRは、200mmおよび300mmウェーハ用の水平統合型フルループウェーハハンドラです。クリーンルームまたは実験室環境を介してウェーハの転送を自動化するように設計された高度なウェーハ処理装置です。RX90B CRは、高精度、大容量のウェーハ処理アプリケーション向けのマルチプロセス機能を備えたクローズドループ制御を備えています。このシステムには、プログラマブルロボットアーム、ビジョンベースカメラユニット、ウェーハの自動監視と追跡のための徹底したPLC/HMI （Programmable Logic Controller/Human Machine Interface）が装備されています。この機械のロボットアームは最大500mmの有効範囲と7軸を備えており、自動輸送および保管時に最大400gの繊細なウェーハ処理が可能です。また、搬送時の衝突によるダメージを防ぐように設計されています。このロボットは、1時間あたり最大250個のウェーハ、またはマルチマシンツールで最大3600個のウェーハを転送できます。また、ビジョンベースのカメラモデルと完全に自動化された追跡装置を提供し、ウェハの識別と転送を完全に自動化します。これは、光学認識とバーコード読み取りアクティビティの組み合わせによって達成されます。また、E-STOPや安全扉インターロックなど、さまざまな安全システムを備えており、危険な状況を防ぎ、人員を危害から保護します。最後に、ユニットは完全にプログラム可能です。つまり、すべてのプロセスと設定を効果的にプログラムできます。これには、モーション、パス、速度データが含まれ、PLC/HMIと組み合わされて、クリーンで効率的なウェーハ転送マシンが作成されます。このツールは、お客様のあらゆるニーズに合わせて目的に合わせてプログラムおよび構成することができるため、あらゆる環境に合わせてカスタマイズすることができます。また、この資産は非常に信頼性が高く、常にフィードバックを提供し、常に途切れることなく安全なウェーハ転送プロセスを保証します。