中古 STAUBLI RX90 #9277556 を販売中

製造業者
STAUBLI
モデル
RX90
ID: 9277556
ヴィンテージ: 1995
Robot With CS7 Controller 1995 vintage.
STAUBLI RX90ウェーハハンドラは、半導体業界でシリコンなどの材料ウェーハをある地点から別の地点に移動させるために使用されるロボットアームです。既存の生産ラインに簡単に統合できるように設計されており、最も厳しい製造要件を満たすための柔軟性と精度を提供します。STAUBLI RX 90のドローフレームはアルミニウムとステンレス製で、堅牢で信頼性があります。これは、プロセス圧力の広い範囲を制御することができ、加圧セルコンパートメントが含まれています。描画フレームには5軸モーションコントロールが含まれており、ウェーハ転送時に優れた精度と安定性を提供します。さらに、描画フレームには空気圧式の垂直方向の動き範囲が含まれており、テーブルトップと引き出しへの正確な転送を可能にします。オプションの真空ラインも取り付けられ、ウェーハ転送の範囲と精度を拡張できます。RX90にはタッチスクリーンインターフェイスとオンボードソフトウェアが装備されており、プロセスパラメータとエンドエフェクターの動きを高度に制御できます。ウェーハ搬送アーム、ウェーハリフター、真空部品など、複数のエンドエフェクターを制御することができます。また、さまざまな通信ポートを備えており、ユーザーは外部の周辺機器に接続することができます。安全面では、RX 90には、赤外線センサ、光電センサ、および内蔵の緊急停止システムなど、ウェーハを取り扱うための複数のフェイルセーフ機構が含まれています。これにより、ウェーハまたはハンドラ自体に損傷を与える前に、潜在的に危険な動作が防止されます。STAUBLI RX90は、簡単に交換可能な部品とオンボードの予防メンテナンスシステムを備え、メンテナンスが容易です。コンパクトな設計により、あらゆるサイズの自動生産ラインへの設置に適しており、ダウンタイムを削減し、生産性を向上させます。全体として、STAUBLI RX 90は信頼性が高く正確なウェーハハンドラであり、ユーザーに高い柔軟性と精度を提供します。堅牢な構造と高度な制御機能により、自動化された生産ラインでウェーハを処理するための信頼性の高いソリューションを提供します。
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