中古 STAUBLI RX90 #9257269 を販売中

Stäubli STAUBLI RX90ウェーハハンドラは、クリーンルーム環境でウェーハスタックを管理し、ウェーハトランスポートを自動化するために設計された自動ツールです。その主な目的は、フロントエンドとバックエンドの両方の半導体プロセスのウェーハ搬送タスクを簡素化することです。Stäubli STAUBLI RX 90は、ロープロファイルのコンパクトなウエハハンドラで、狭いスペースに収まることができます。統合されたロボットアームを使用して、ウェーハスタックを1つの場所から別の場所に正確に制御することができます。また、ウェーハスタックに高い角度で到達することができ、高い天井の建物でも簡単かつ安全にウェーハスタックにアクセスできます。RX90は、複数のグラバーを同時に使用できるデュアルEVGウェーハグラバーを備えています。これにより、ウェーハの搬送速度を向上させ、機器をより効率的に動作させることができます。ソフトウェア制御システムは、ウェーハが指定された場所に安全かつ確実に輸送されるようにしますが、さまざまな機能が信頼性の高い接続を確保し、ほこりの汚染を防ぐのに役立ちます。さらに、システムの機能を拡張するために、幅広いアクセサリーが利用可能です。Stäubli RX 90は、フロントエンドとバックエンドの両方の生産プロセスのニーズを満たすように設計されています。標準的なウェーハ搬送機能に加えて、背の高いウェーハや幅の広いウェーハ、サイズの異なるウェーハも取り扱うことができます。また、酸化ゲート層を備えたウェーハスタックも搭載可能で、必要に応じてガス流量を最適化することができます。Stäubli STAUBLI RX90のモジュラーデザインは、必要に応じてさまざまな追加機能を追加することもできます。柔軟なアーキテクチャにより、プロセスの要件に応じてシステムを構成でき、堅牢なエンコーダにより正確な位置決めが可能です。また、搬送時に各ウェハスタックの正確な位置を検出できる専用スポットコントロールツールを搭載しています。Stäubli STAUBLI RX 90は非常に汎用性が高く、さまざまなクリーンルーム環境で使用できます。ウェーハの製造、供給または在庫管理、または完全な会場管理のいずれであっても、Stäubli RX90は信頼性が高く効率的なウェーハ輸送ソリューションを提供するように設計されています。機能と機能の組み合わせにより、フロントエンドとバックエンドの半導体プロセスに最適です。