中古 STAUBLI RX90 #9010342 を販売中

STAUBLI RX90 Wafer Handlerは、半導体ウェーハの高いスループット、高精度なハンドリングを実現するロボットアームです。STAUBLI RX 90は6軸の動きで、最大600mmまでの3D動作が可能です。ジョイントモーターは5個、ロボットの手首を駆動するための4個、最大速度を制御するための1個が含まれています。RX90は最大50kgの静電容量を持ち、3インチから8インチまでのさまざまなサイズの半導体ウェーハに対応できます。追加機能として、RX 90にはグラフィカルユーザーインターフェイスとプログラマブルロジックコントロール機能があり、エンジニアはプロセスの結果を監視し、データを分析し、カスタムコマンドを作成することができます。STAUBLI RX90には、ローインピーダンスリニアアクチュエータが搭載されており、低力、高精度の動作を可能にし、ウェーハの配置を正確かつ損傷なく処理することができます。また、ジョイントモータが危険なトルクを維持することを防ぐ特異度制御機能を備えています。さらに、STAUBLI RX 90には、ビジョンガイダンスとマーカー認識機能を備えた2台のカメラで構成された統合ビジョン機器が含まれています。ウェーハインデックス処理、パターン認識、ウェーハアライメントの自動化を可能にします。このビジョンユニットには、完全自動真空吸引機を使用しており、安全なツールグリップと均一なウェーハ移動が可能です。RX90はSTAUBLI SCARA技術で動作します。つまり、安定したトルクと高い加速度だけでなく、独自のプログラムされたモーションパスも備えています。これにより、正確かつ効率的なウェーハ処理が保証されます。さらに、RX 90はSTAUBLIスマートカードツールと互換性があり、手動で介入することなく、カスタムロボットの迅速かつ簡単なプログラミングを可能にします。STAUBLI RX90 Wafer Handlerは、半導体ウェーハのピッキングおよび配置用に設計された信頼性の高い効率的なロボットアームです。堅牢な構造と合理化された設計により、安全で正確な精密配置が可能です。統合されたビジョンアセットとカスタマイズ可能なソフトウェアにより、ソートやテストなどのさまざまなアプリケーションに最適です。