中古 STAUBLI RX90 #9009146 を販売中

STAUBLI RX90 Wafer Handlerは、複数のウェハを一度に転送する必要があるファクトリーオートメーションにおいて、安全で効率的なウェハハンドリングを可能にするように設計されたロボットです。このロボットは、アクチュエータ、制御装置、ウェーハグリッパー、ウェーハサポートプレート、ベースプレートの5つのコンポーネントで構成されています。アクチュエータは、3つの高性能モータを備えた最適化されたダブルアームシステムで構成されており、それぞれが最大255Kgをサポートできます。制御ユニットは、あらかじめプログラム可能で、迅速かつ正確な動作を可能にする高性能サーボ制御機です。ウエハサポートプレートはステンレス製で、ミネラル充填されたポリカーボネートコーティングで酸化を防ぎ、汚染物質に耐性があります。ウェーハグリッパーは、ウェーハエッジを損傷したり、プロセスで反りを引き起こすことなく、ウェーハを確実にホールドできるように設計されています。ベースプレートは、ロボットコンポーネントを工場の床に取り付けるための安全なプラットフォームを提供します。ロボットは、X、 Y、 Z軸の3つの自由度で移動し、ベースプレートの周りを回転することができます。最大600mm/minの速度で最大4つの8インチウェーハを正確に転送できます。また、動的リーチは610mmで、最大700mmのウェーハを持ち上げることができます。STAUBLI RX 90 Wafer Handlerは、ウェーハ処理プロセスの効率を最大限に高め、ウェーハの汚染や損傷のリスクを最小限に抑えるように設計されています。また、高度な安全機能と簡単な操作のためのヒューマンマシンインターフェイスを備えています。RX90 Wafer Handlerは、ファクトリーオートメーションの信頼性と高度なソリューションです。その優れた性能と堅牢なデザインにより、さまざまなアプリケーションに適しています。高速性能、高度な安全機能、最適化された設計により、RX 90 Wafer Handlerは幅広いウエハハンドリング操作に最適です。