中古 STAUBLI RX90 LCRfsi #9255551 を販売中

ID: 9255551
ヴィンテージ: 1995
System 1995 vintage.
STAUBEL STAUBLI RX90 LCRfsiは、さまざまなウエハーのサイズと種類に対応するように設計された産業用ウエハハンドラです。この費用対効果の高いロボット機器には、統合ビジョンガイダンスとインテリジェントビジョンシステムを備えた高速リニアロボットが装備されています。人間工学に基づいたオペレータインターフェイス、定義済みのウェーハサイズに調整できるサポートカラム、ウェーハを正確かつ安全に転送するための強力なリフトハンドリングユニットを備えています。直径75mm〜400mmまでのウェーハを容易に取り扱え、ウェーハ製造工程への干渉を最小限に抑えながら、より高い生産スループットを実現します。RX90 LCRfsiはコンパクトで軽量であるように設計されており、クリーンルーム環境に簡単に統合でき、ほとんどのオートメーションシステムと互換性があります。IP67保護クラスの定格を備えており、クラス3のクリーンルームに適しています。また、高感度な環境で使用できるオプションのESD保護機もあります。このツールは、+/-0。5mmの再現性と、ウェーハの転送時間を短縮する優れた速度で、高い精度を備えています。このRX90は、ウェーハの種類とサイズを自動検出できるインテリジェントビジョンアセットと、ウェーハの正確な取り扱いと輸送中の損傷を防止する統合ビジョンガイダンスモデルを備えています。サポートコラムは、あらゆるウェハサイズに対応するように調整でき、強力なリフトハンドリング装置は、転送位置間でウェハを正確かつ安全に転送することができます。このシステムには人間工学に基づいたオペレータインターフェイスが装備されており、ロボットの設定と操作の監視が容易になります。ウエハハンドリングプロセスの現状情報を明確に表示するタッチスクリーンを備えており、コマンドを迅速かつ効率的に入力することができます。また、E-StopやWafer Spinningなどの高度な安全機能も備えており、誤ったウェーハの損傷を防ぎます。結論として、STAUBEL STAUBLI RX90 LCRfsiは、自動ウェーハ処理に最適なソリューションです。人間工学に基づいたオペレータインターフェイス、調整可能なサポートコラム、高速リニアロボット、統合ビジョンガイダンス、高度な安全機能を備えています。小型・軽量で費用対効果に優れ、幅広いサイズ・タイプのウェーハを正確かつ安全に転送することが可能です。
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