中古 STAUBLI RX90 LCRfsi #9255544 を販売中

STAUBLE STAUBLI RX90 LCRfsiは、自動輸送、検査、計測システムで使用されるウェハハンドラです。ウエハーやその他の基板の形状や材料を、最小限の歪みで迅速かつ正確に転送するように設計されています。独自のLCR （Linear Cartesian Robotics）設計により、滑らかで高速な動きと比類のない精度を保証します。独自のSmooth Spindle Drive （SSD）を使用して、X、 Y、 Zの3つの軸に沿った直線運動を作成します。これにより、ロボットは全軸で1ミクロンを超える解像度で5,000mm/secの速度まで移動できます。このRX90には、基板のサイズや形状に関係なく一貫して制御されたグリップ力を自動的に維持し、輸送中に基板の安全なグリップを確保するフォースリアクティブサスペンション（FRS）システムも装備されています。これにより、ロボットのグリップ中に基板を傷つけたり、脱着したり、損傷したりするリスクが軽減されます。また、1。5 μ mの分解能を持つ基板の検査・測定が可能な統合ビジョンシステムを搭載しています。RX90の高精度なLCR設計により、フォワードとリバースの両方で合計16度の自由度を維持することができます。これは、他のロボットシステムに典型的に見られる「ぐらつき」を最小化するのに役立ち、ウェーハが常に特定の時点で正確に配置されていることを保証します。さらに、その設計は、伝達経路全体に沿って均一な基板サポートを保証し、振動や衝突のリスクを低減します。全体として、STAUBLE RX90 LCRfsiは、半導体業界のハイエンドプロセス向けに設計された革新的で汎用性の高いウェハハンドラです。その高度LCRの設計、直感的な力の反応懸濁液、および統合された視野システムはそれをあらゆる製作の実験室のための理想的な選択にします。最大5,000mm/secの速度で最大1 μ mの分解能で、最大効率と精度で基板を転送および検査することができます。