中古 STAUBLI RX90 CRfsi #9255569 を販売中

STAUBLI RX90 CRfsiは、半導体および電子機器製造業界向けに設計された最先端のウェハハンドラロボットです。このロボット機器は、製造環境全体にわたって信頼性の高い正確かつ効率的なウェーハ転送を提供します。RX90 CRfsiは、ハイスループット半導体アプリケーションに特化しており、カセット、FOUP、 FOSBなどからのウェーハのスムーズで正確かつ同期的な転送を提供します。STAUBLI RX90 CRfsiは、フィールドバス、PLC、およびデジタル入出力のための柔軟な入出力オプションを備えており、ユーザーはこのウェハハンドラを既存のファクトリーオートメーションシステムに組み込むことができます。このユニットは、カメラ追跡ウエハムーブメントを内蔵したビジョンガイドアプリケーションにも使用できます。この高精度かつ高精度なウエハハンドラは、人との接触を最小限に抑え、汚染を排除するように設計されています。RX90 CRfsiは、2つの同期されたデカルト軸とウエハハンドリング用の拡張アームを使用しています。X軸、 Y軸ともに± 0。005mm、最高速度1,000mm/sの再現性があります。このロボット機械は200mmから450mmまでいろいろなウエハーのサイズを、扱うことができます。自動パドル交換、ウェーハの自動噴出、最適なハンドリングのための調整可能な圧力ツールなどの機能が付属しています。この機能により、ウェーハが静電気にさらされることがなく、ウェーハの伝達が穏やかで正確であることが保証されます。STAUBLI RX90 CRfsiは、正確な配置を確保するためのビジョンアセットだけでなく、正確な速度でウェーハ転送を可能にする統合された真空ポンプを備えています。このモデルはまた、エラー検出と制御を備えており、包括的なエラー処理ソリューションを提供します。RX90 CRfsiはまた、特許取得済みの密閉システムを通じて、水分および粒子管理から効率的な機器メンテナンスを提供します。STAUBLI RX90 CRfsiは、ハイスループット半導体アプリケーション向けに設計された信頼性の高い正確な自動ウェハハンドラユニットです。このロボットツールは、正確な再現性、調整可能な圧力機械、およびエラー処理機能を備えており、製造環境全体で迅速かつ正確で信頼性の高いウェーハ転送および処理を提供できます。