中古 STAUBLI RX80B #293817769 を販売中

STAUBLI RX90 Wafer Handlerは、半導体産業におけるウェーハの積み降ろしに優れた精度と再現性を備えた自動ロボット装置です。正確な位置決めとアライメント精度を提供しながら、ウェーハを転送および交換する際に、コンパクトで高速で信頼性が高くなります。ウエハサイズは50mm〜300mmまで対応可能です。STAUBLI RX 90には5軸ロボットとデュアル磁気グリッパーが搭載されています。これにより、ウェーハをターゲットポイントに配置する際に完全な柔軟性を提供し、事実上あらゆる方向に移動することができます。さらに、ダイナミックビジョンシステムと細かくチューニングされたモーションコントローラは、ウェーハを移動、転送、交換する際に、指数関数的に正確かつ高精度なモーションプロファイルを保証します。このシステムは、最大1m/sの最高速度でターゲットポイントに入り、数マイクロメートル以内の精度で落ち着くことができます。再現性に関しては、RX90 Wafer Handlerは0。15mmまでの精度レートを保持することができます。また、異なるフラットサイズや厚さでも、ウェーハの位置、傾き、回転角度を正確に測定することができます。さらに、インテリジェントモーションコントロールユニットは、外部障害による振動を低減するのに役立ちます。RX 90 Wafer Handlerは、手動交換、スループットの向上、長寿命サイクルの削減による作業効率の向上に加えて、メンテナンス要件のない高い耐久性と信頼性の高い性能を備えています。ノイズや防塵性に優れたプラスチックハウジングを搭載し、あらゆる環境での使用に最適です。また、低電圧で省エネにも対応しています。全体として、STAUBLI RX90 Wafer Handlerは、あらゆる半導体施設で効率的な生産およびオートメーション機能を最大化するように設計されています。その信頼性と再現性の高い性能、高精度、耐久性により、このロボットマシンは市場でウェーハを扱うための人気のある選択肢となりました。