中古 STAUBLI RX60 #9205969 を販売中

STAUBLI RX60は、自動ウェハ転送システム用に設計された高速ウェハハンドラです。堅牢で低振動設備で信頼性の高い動作を実現し、精度を測るための精密リニアベアリングシステムを備えています。RX60ウェーハハンドラは、x、 y、 z方向のウェーハを精度と速度で動かすことができるロボットアームです。ウェーハボックス、プロセスチャンバー、および個々のオペレータ間でウェーハを移動します。STAUBLI RX60ロボットアームには、スイベルジョイントを内蔵した6軸の動きがあります。最大ウエハサイズは200mmで、材料のグレードに応じて各軸に最大8個のウエハを保持できます。その速度と精度は、人間のオペレータが達成できるものを大幅に上回り、精密材料の積み降ろし、取り扱い、輸送などのタスクを迅速かつ低コストで実行することができます。RX60上の光学マシンは、自動化された表面識別をサポートし、ウェーハごとに1層の情報を入力する機能を提供します。このツールは、負荷ポート機器などの外部機器への接続もサポートしているため、ユーザーは複雑なプログラミングなしで操作をプログラムおよび制御できます。STAUBLI RX60の設計は、信頼性と長寿命を保証します。堅牢なボディは耐腐食性と耐摩耗性を兼ね備えており、過酷な環境での使用に適しています。さらに、ロボットには多数のセンサーと診断ツールが組み込まれており、ロボットの機能と性能を監視および分析することができます。これにより、ユーザーは任意の異常を検出し、必要に応じて是正措置を取ることができます。RX60は汎用性が高く、正確で効率的なウェハハンドラです。自動化されたシステムのウェーハを移動および処理するための信頼性が高く、正確で費用対効果の高い方法を提供します。使いやすいインターフェース、高性能な機能、高度な技術力により、自動ウェハハンドリングおよび転送システムに最適です。