中古 STAUBLI RX60 #9205957 を販売中

Stäubli STAUBLI RX60は、自動半導体製造プロセスで使用される多軸ウェーハハンドラです。このウェーハハンドラは、直径150mmのウェーハを最大6本まで安全かつ正確に取り扱える高精度な多軸モーションシステムを採用し、信頼性と堅牢性に優れた設計を提供します。RX60は、生産ライン環境の自動機器プラットフォームに直接取り付けるように設計されており、ウェハローディング、アンロード、スクリーニング、および関連プロセスに最適化されたソリューションを提供します。STAUBLI RX60 Wafer Handlerは、ステッピングモーターを使用して優れた動作機能を提供し、サーボモーターオプションを使用してより高い精度を提供します。すべての軸は単一のタイミングベルトを介して駆動され、動きの同期のために個別に制御することができます。さまざまな再現性レベルと最適化された速度を提供するために、さまざまなギア比が利用可能です。このウェーハハンドラには、選択的な電気的および機械的ウェーハハンドリングシステムと、2つのウェーハクランプシステムの選択肢があります。モーター式アームには、ウェーハクランプ機構が組み込まれており、ウェーハを確実に取り付けることができ、モーションドリフトを防止します。さらに、ウェーハをアームに対してやさしく動かし、安定性を高めるソフトなタッチ機能を備えた、空気圧ウェーハクランプ機構を採用。すべての部品はメンテナンスフリーに設計されており、コンパクトなボディに収納されているため、スペースの制約がある機器に最適です。RX60 Wafer Handlerは、さまざまな機器プラットフォームと容易に統合できるモジュール式のwulfモジュールと、さまざまなパラメータを監視および制御するために使用できる高度なリモートインターフェイスを備えています。また、wulfモジュールは同時入出力にも対応しており、複数のマシンを接続することで利便性を高めています。Stäubli STAUBLI RX60は、自動半導体生産プロセスの精度と信頼性に特化して設計された先進的なウェハハンドラです。効率的な動作機能、選択可能な電気および機械的ハンドリングシステム、およびモーションドリフトなしでウェーハを安全に転送するための空気式または電動ウェーハクランプ機能を備えたコンパクトでモジュラー設計です。高度なリモートインターフェイスにより、すべてのパラメーターを便利に監視および制御でき、ウェハローディング、アンロード、スクリーニング、および関連する半導体プロセスに最適なソリューションを提供します。