中古 STAUBLI RX60 #9205956 を販売中

STAUBLI RX60は、半導体製造アプリケーション向けに設計されたウェハハンドラです。このデバイスは、シンプルでコンパクトな設計を備えており、ウェーハの正確で信頼性の高い処理を可能にする堅牢なコンポーネントを誇っています。RX60には、二軸モーションコントロール、正確な位置決め機能、幅広いウェーハサイズを受け入れる機能など、さまざまな機能が組み込まれています。その多軸設計は、水平と垂直の両方の動きを可能にし、シングルまたは両面、ラウンド、正方形または長方形を含むさまざまな種類のウェーハに対応できます。STAUBLI RX60には、最大200個のウェーハ位置をサポートできる自動ウェーハハンドリングアームが装備されています。腕は陽極酸化されたアルミニウムおよびステンレス鋼から組み立てられ、精密で、反復可能な動きを保障するためにサーボモーターシステムによって動力を与えられます。さらに、アームは空気圧活性真空システムを備えており、ウェーハをしっかり保持して解放します。RX60の位置決め精度も非常に正確で、再現精度は0。04mm、解像度は0。002mmです。さらに、最大速度60m/sの処理が可能で、ウェーハの迅速かつ効率的な処理が可能です。安全性を高めるために、STAUBLI RX60には、緊急停止ボタン、ブレークアウェイセーフティホイール、インターロックメカニズムなど、さまざまな安全機能が装備されています。さらに、このデバイスは、クリーンルームや揮発性化合物を含むその他の場所などの危険な場所での使用にも適しています。結論として、RX60はさまざまなアプリケーションに適した信頼性の高い精密なウェーハハンドラです。その耐久性のある設計、正確な位置決め精度、高速容量、安全機構により、半導体製造環境での使用に最適です。