中古 STAUBLI RX60 #9022227 を販売中

Stäubli STAUBLI RX60は、シリコン、GaAs、 SOI、およびその他のウェハを輸送および変更するために設計されたウェハハンドラです。この高度なウェーハハンドラは、ウェーハを処理チャンバ内および処理チャンバ外に移動するための安全で効率的で正確な方法を提供します。Stäubli RX60は、ウェーハハンドリングの正確な処理を提供する多軸ロボットデザインを備えています。1分間に最大2000回転の回転サイクルで、最大6つのウェーハを同時にピックアップして整列させることができます。さらに、18kgまで持ち上げることができ、半導体製造プロセスでよく使用されるより硬くて重いウェーハを操作することができます。Stäubli STAUBLI RX60このような信頼性の高いウェーハハンドラになるのは、安全性を重視した構造です。安全柵、Eストップ、各種安全センサーを搭載し、障害物や異常状況を検知します。これにより、ウェーハハンドラは産業環境で安全かつ確実に使用できるようになります。Stäubli RX60には、理想的なウェーハハンドラとなる他の機能も多数搭載されています。プログラマブルパス上で複数のピックアンドプレイステップのシーケンスを実行できます。また、このハンドラは、真空ポンプやクリーンルームシステムなどの他の多くのシステムと組み合わせて使用することもできます。メンテナンスとトラブルシューティングのために、Stäubli STAUBLI RX60には、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とリモート診断とシステム設定のためのリモートサービスツール（RST）が装備されています。GUIを使用すると、技術者はシステムのさまざまなコンポーネントにすばやくアクセスでき、問題をすばやく特定して修復できます。結論として、Stäubli RX60は高度で信頼性の高いウェハハンドラであり、産業環境におけるウェハーの正確かつ安全な取り扱いを提供します。多軸設計、安全機能、メンテナンスツールにより、半導体加工に最適です。