中古 STAUBLI RX60 #188858 を販売中

製造業者
STAUBLI
モデル
RX60
ID: 188858
ヴィンテージ: 2000
Robot 2000 vintage.
STAUBLI RX60は、自動化されたプロセスおよびパッケージングアプリケーションで使用するために設計されたウエハハンドラです。最大600mm/sの速度で最大6インチウェーハを処理し、最大生産性を実現します。迅速な処理時間により、サイクルタイムを最小限に抑え、スループットを向上させます。RX60には、操作を柔軟に制御するための複数のオートメーションインターフェイスが付属しているため、最も効率的なツールパスを選択できます。STAUBLI RX60は、ウェーハを正確かつ正確に配置するために最先端のビジョン装置を採用しています。また、ウェーハ上のマーカーポイントから適切なオフセットを検証して測定し、迅速かつ正確に登録することもできます。さらに、CCDカメラと統合ソフトウェアパッケージにより、オペレータはウェーハを正確かつ迅速にマッピングできます。この機能は、複数のウエハサイズと構成を扱う場合に非常に有益です。独立したサーボ制御ローダーとアンローダーにより、システムの動作柔軟性が向上します。また、クイックリリースチャックを装備し、ユニットの初期セットアップに必要な操作数を最小限に抑えます。このマシンは、オペレータの介入がほとんどなく、ウェーハを安全かつ迅速に処理することができます。RX60には、高度なクローズドループ制御ツールと包括的なフォールトトレラント機能も備えています。アセットは、複数のオペレーションを同時に実行しながら、迅速かつ信頼性の高いオペレーションを提供し、ダウンタイムを削減し、スループットを向上させるように設計されています。これは、異常または機械的障害のオペレータを検出、診断、警告する自己診断機能を備えた包括的なフォールトトレラント/アラームモデルを備えています。STAUBLI RX60は、最大400個のウェーハを保管できる冷蔵庫を備えています。この便利な機能により、ウェーハの積み降ろしに要する作業時間を短縮できます。効率的なソフトウェアパッケージが利用可能で、オペレータは特定のプロセス要件に合わせてプログラムをカスタマイズできます。このソフトウェアはまた、プロセスの自動化を可能にし、他のファクトリーオートメーションシステムと統合することができます。RX60は、高いスループットと精度要件を備えた自動プロセスおよびパッケージングアプリケーションに最適です。その高度なビジョン装置は、正確で正確なウェーハの動きを提供し、統合されたサーボ制御ローダーとアンローダーは、高速で信頼性の高い動作を保証します。サーモスタットの部屋および有効なソフトウェアパッケージは急速で、有効なプロセス自動化を可能にし、広範囲の警報システムはダウンタイムおよび人間の介入を最小にします。
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