中古 STAUBLI RX60 CRaut #9022317 を販売中

ID: 9022317
ヴィンテージ: 1999
Robot Control console and PC 1999 vintage.
STAUBLI RX60 CRaut Wafer Handlerは、幅広いウェーハ処理プロセスを自動化するために設計された最先端のデバイスです。このユニットは、半導体製造プロセスでの使用を想定して設計されており、複雑なウエハー処理要件を簡単かつ簡単に管理できます。RX60 CRautは、耐久性のあるステンレススチールフレームで構成され、モジュラーカセットハウジング付き可動キャリッジシステムを備えたシングルチャンバーシステムです。このユニットは、ウェーハ1個あたり1秒未満で効率的にウェーハをチャンバ内およびチャンバ外にロード、アンロード、および転送することができます。これにより、大規模で複雑なウェーハ処理に最適です。単位の温度は+/-2°Fの精密の50から150°F (10から65°C)の範囲内で調節され、監視することができます。この効果的な温度制御により、ウェハの特性が製造プロセス全体にわたって維持されます。STAUBLI RX60 CRautは、温度制御に加えて、迅速で簡単なウェーハクリーニングを提供します。自動化された洗浄システムは、ウェーハからの粒子、ほこり、その他の破片を損傷することなく優れた除去を提供します。また、制御された安全な方法で潜在的な汚染を低減します。RX60 CRautには、複数のパワーアップを防止する安全インターロックや、あらゆる可動部品との偶発的なオペレータ接触など、幅広い安全機能が搭載されており、ウェーハを取り扱うための安全かつ効率的な機械となっています。全体として、STAUBLI RX60 CRaut Wafer Handlerは、複雑なウェーハ処理プロセスを管理するための信頼性が高く効率的なデバイスです。高精度の温度制御、自動洗浄、さまざまな安全機能を備えているため、大規模で複雑なウェーハ処理に最適です。
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