中古 STAUBLI RX130B #9251365 を販売中

STAUBLI RX130B Wafer Handlerは、加工チャンバへのウェーハの積み降ろしを、比類のない精度と速度で処理するために設計された最先端の精密機器です。この装置は、さまざまなウエハ基板およびプロセス用に特別に設計されています。RX130Bは、最大8インチ（200mm）のウェーハに対応可能なモジュール式ウェーハハンドラです。システムはPC制御下にあり、ウェーハシーケンスとプロセスパラメータへの完全なアクセスを提供します。STAUBLI RX130Bは、業界トップクラスの精度とスピードで、ウェーハの処理ニーズに柔軟性を提供します。ユニットの中心には、カスタム設計のモーター式ブレードカセットがあり、迅速かつ信頼性の高いウェーハ転送を可能にします。カセットはダイレクトドライブブラシレスサーボモータによって駆動され、ウェーハを正確な角度に持ち上げて回転させることができます。これにより、最高の精度とクラス最高のウェーハ負荷を提供します。RX130Bはまたパレタイザの正確で、滑らかな動きを保障する精密線形ドライブ機械に頼ります。このドライブツールは、ウェーハの向きと配置を正確に制御し、各ウェーハに正確にロードおよびアンロードするのにも役立ちます。この高度な精度と精度は、危険な環境から人員を保護するように設計された安全でメンテナンスが容易なエンクロージャに収容されています。キャビネットは感電を防ぐ接地バスバーと供給され、取り外し可能なドアは容易なクリーニングまたは維持を可能にします。STAUBLI RX130Bは、エラー処理からオペレータを保護するための安全機能も備えています。これらの保護障壁は、ウェハローディングとアンロードのための安全な環境を提供するのに役立ちます。全体的に、RX130Bの高度な機能と安全性は、信頼性と正確なウェーハ処理を必要とする人にとって理想的な選択肢です。STAUBLI RX130Bは、これまでにない精度とスピードで、さまざまなウエハ基板やプロセスを容易に処理できます。