中古 STAUBLI RX130 #293767434 を販売中

Stäubli STAUBLI RX130は、直径300mmまでのウェーハの転送と取り扱いを目的とした半導体ウェーハハンドラです。RX130により、オプトエレクトロニクス、MEMS、 CMOS、クリーンルーム環境を必要とするその他の高精度プロセスなど、さまざまなアプリケーションで迅速かつ正確なウェーハ処理が可能になります。STAUBLI RX130は、柔軟性と調整性のためのモジュール設計を備えています。ウェハハンドラは、エンドポイントグリッパー、ピボットアーム、2つのチルトアクチュエータ、およびすべての動きを同期するための中央制御ユニットで構成されています。エンドポイントグリッパーはウェーハを把握して固定するように設計されていますが、ピボットアームはウェーハを所望の位置に回転させるように設計されています。チルトアクチュエータは、各ウェーハの正確な向きを正確に制御し、元の傾き位置に対してウェーハの傾斜角度を調整します。RX130ウェーハハンドラは、振動や騒音の少ない動作に設計されており、敏感なクリーンルーム環境でのウェーハ処理に最適です。ウェハハンドラには、定期的なメンテナンスの必要性を減らし、ハンドラの寿命を延ばすことができる自己潤滑部品も含まれています。さらに、STAUBLI RX130にはさまざまな安全機能が装備されており、ウェハハンドラが囲まれた安全エリア内で動作し、常に適切な機能と位置を監視されます。さらに、統合された最先端のコントローラにより、ユーザーはウェーハハンドラを任意の数のウェーハ処理タスクにプログラミングすることができます。このコントローラを使用すると、ウェーハ転送の速度、座標点、およびエンドポイントを制御できます。さらに、コントローラにはアラーム、モニタリングシステム、およびセンサーが装備されており、異常な動作を検出し、ユーザーに警告します。全体として、Stäubli RX130は、クリーンルーム環境で最大300mmの直径のウェーハを転送および処理するために設計された汎用性と信頼性の高いウェーハハンドラです。それは柔軟性のためのモジュール設計を特色にし、長い寿命を保障するために低振動および騒音レベル、また自動注油の部品と設計されています。内蔵された最先端のコントローラにより、ユーザーはウェーハ転送をプログラムし、異常な動作や機能を検出するための安全監視とアラームを提供できます。