中古 STAUBLI RX130 #112259 を販売中

STAUBLI RX130は、製造プロセスの生産性と効率を向上させるために設計された先進的なロボットウェーハ処理装置です。コンパクトな設計により、半導体やMEMSデバイスの高精度アプリケーションに適しています。RX130は、6軸キネマティックアームを内蔵したコントローラを備えており、高い再現性で複雑な操作を行うことができます。このロボットは直径300mmまでのウェーハを扱うことができ、ほとんどの半導体製造プロセスに適しています。また、高速な動きと精密な再現性により、シリコン、ガラス、石英などの幅広い素材での作業が可能です。STAUBLI RX130は、複雑な操作を簡単にプログラミングできるシンプルで高機能なユーザーインターフェイスを備えています。ロボットのプログラミングは、Teach PendantとSTAUBLIソフトウェアを実行しているコンピュータを介して行われます。この直感的なインターフェイスにより、カスタムオペレーションを簡単に実装でき、プロセスの効率を向上させ、コストを削減できます。さらに、ロボットの一部が障害物と接触した場合に動作を停止する衝突検出システムなど、人員の安全を確保するための安全機能が搭載されています。RX130には、ウエハ表面をリアルタイムに観察できるカメラユニットも装備しています。これにより、ロボットを操作する際の温度、圧力、動作方法など、さまざまなパラメータや条件を簡単に調整できます。この機能により、ウェーハ損傷の潜在的なリスクを最小限に抑え、全体的な安全性を向上させます。さらに、カメラマシンは他の画像処理システムと統合することができ、製造プロセス中の品質管理とフィードバックを改善することができます。全体として、STAUBLI RX130は、堅牢な構造、簡単なプログラミング、高精度のおかげで、幅広い半導体およびMEMS製造作業に最適です。柔軟な設計と直感的なユーザーインターフェイスにより、カスタムアプリケーションや微調整された生産プロセスにも適しています。