中古 STAUBLI RS80 #9109373 を販売中

STAUBLI RS80は、半導体ウェーハを移動するための高精度、シングルアーム動作を提供するように設計されたウェーハハンドラです。この装置には、ウエハの正確な位置決めを可能にする7モーターを備えた力制御6軸ロボットアームが組み込まれています。ロボットの駆動システムはリニアモータをベースにしており、高速、高速、高解像度をユーザーに提供します。ハンドリングユニットは、直径8インチまでの個々のウェハをサポートすることができます。また、さまざまな厚さと構成の複数のウェーハを処理する機能も備えています。ウエハハンドリングエンドエフェクタは、ウエハハンドリング工程中にウエハを押しつぶさずにグリップするように設計されており、ウエハブレイクのリスクを最小限に抑えます。さらに、ロボットアームには、環境の危険から保護するための保護エンクロージャが取り付けられています。RS80には、さまざまな安全機能が装備されています。ユーザーが保護エンクロージャにアクセスしている間にアームが動くのを防ぐ安全インターロック、緊急時にアームをすばやく停止させるための緊急停止スイッチ、ロボットアームが制限エリアに入るのを防ぐライトカーテンマシンが含まれます。STAUBLI RS80は、安全機能に加えて、片持ちモーター駆動でフットプリントを最小限に抑え、メンテナンスと設置を容易にします。ロボットは、バックラッシュを排除し、振動や乱れを低減して精度を向上させる高度なクローズドループツールによって駆動されます。このロボットアームは、STAUBLI独自のロボット制御言語であるRobotControl™をはじめ、様々なソフトウェア言語を使用してプログラムすることができます。ロボットはPC制御システムとも互換性があり、ユーザーは自分のマシンからロボットを制御することができます。全体として、RS80は半導体生産環境での使用に最適な高性能、高精度のウェーハ処理資産です。その安全機能、フォースコントロール動作機能、ソフトウェアプログラムの範囲は、自動ウェハハンドリング操作に最適です。