中古 STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsi #9255539 を販売中
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Stäubli STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsiは、半導体産業におけるウェーハの転送および操作に使用されるウェーハハンドラです。制御されたクリーンルーム環境で動作するように設計されており、高精度で高速なウェーハアライメントとハンドリングに使用できます。Stäubli CS7Mfsi RX90LCRfsiは、垂直に取り付けられたRC制御ユニット、ドライブベース、統合されたバックライトとウェーハチャックを搭載した高トルク6軸ロボットで構成されています。フルストローク、900mmのフルレンジ動作、バッテリーバックアップ、緊急停止、停電アラーム、すべてのシステム健康コンポーネントの監視など、幅広い安全機能を備えています。さらに、Stäubli STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsiは、高精度制御と全動作範囲の正確なアライメントのための正確なリニアエアベアリングモーションを備えています。Stäubli CS7Mfsi RX90LCRfsiは、クリーンルーム製造環境で使用される高品質のシステムで使用するために設計されています。それは強く、防蝕ステンレス鋼となされ、容易に消毒することができます。STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsiは、1回の操作で複数のウェハーの転送をサポートし、ウェット/ドライウェハーマウント機能を備えています。また、さまざまなエンドエフェクターを交互に使用することができ、さまざまなロボット処理アプリケーションで使用できるように設計されています。Stäubli CS7Mfsi RX90LCRfsiには、多くの高度なモーションコントロール機能が装備されています。STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsiには、2つの完全にプログラム可能なデジタルサーボ軸があり、より速い応答、精密な操縦、および迅速な動きを提供します。また、すべての機能と効率的なプログラミングのためのビジュアルディスプレイを含む高度な直感的なユーザーインターフェイスが付属しています。さらに、CS7Mfsi RX90LCRfsiは多くの高度なソフトウェアパッケージと互換性があり、既存の自動生産ラインに簡単に統合できます。全体として、Stäubli STAUBLI CS7Mfsi RX90LCRfsiは、クリーンルーム製造環境で使用するために設計された汎用性の高い使いやすいウェハハンドラです。耐久性、耐食性に優れたステンレス鋼で作られており、モーション、精密なリニアエアベアリング、高度なモーションコントロール機能を備えています。さらに、Stäubli CS7Mfsi RX90LCRfsiには直感的なプログラミング機能と高度なソフトウェア統合機能が搭載されており、高精度で高速なウェーハアライメントとハンドリングに最適です。
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