中古 STAUBLI CS7fsi RX90CR #293624190 を販売中

Stäubli STAUBLI CS7fsi RX90CRは、半導体産業における基板の信頼性と効率性を提供するために設計された、高性能で最先端のウェハハンドラです。CS7fsi RX90CRは最大6インチ（150mm）のウェーハを処理でき、負荷容量は最大165ウェーハ、アンロード容量は最大350ウェーハです。この装置には、超精密な空気ベアリングゲートとピッカー技術が装備されています。両方とも低接触ショルダー構造で設計されており、0。02mm Z軸の傾き制御と安定性で正確な動きを保証します。さらに、デュアルスイングアームロボットモーションにより、ソフトでスムーズな動作を実現し、ウェーハのピッキング、回転、ローディング、アンロードが容易に行えるように設計されています。また、STAUBLI CS7fsi RX90CRには、ウエハIDをスキャン・検証するための高度なカメラユニットが装備されています。カメラマシンは、毎秒最大1000枚の画像をキャプチャすることができ、ウェーハを効率的に追跡して正しく識別できるように、正確な精度を備えています。さらに、CS7fsi RX90CRはユーザーフレンドリーなインターフェイスワークステーションで設計されています。カラーグラフィックHMIで構成されており、パラメーターや指示を入力し、学習曲線を最小限に抑え、操作を容易にするための明確で簡潔な指示と画面上のヘルプを提供します。このツールには、IEEE 1394、シリアルRS232/485、 14ポート接続などのさまざまな通信バスも付属しており、高いレベルの柔軟性を提供します。STAUBLI CS7fsi RX90CRは、人の操作者の存在を検出するためのライトカーテン、電力安全リレー、追加の保護のための安全ボックスなど、強化された安全システムも備えています。セーフティボックスは、パラメータへの不正アクセスを防ぎ、資産の不注意な改ざんを防ぐように設計されています。全体として、Stäubli CS7fsi RX90CRは優れた機能と機能を備えた高性能ウェーハハンドラであり、要求の厳しい半導体産業アプリケーションに最適です。