中古 STAR SP-600F #9176575 を販売中
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STAR SP-600Fウェハハンドラは、精密なウェハハンドリングと位置決めをトータル精度で提供するように設計された先進的なロボット機器です。半導体およびMEMS製造アプリケーションにおいて、ウェーハの取り扱いおよび処理ニーズに優れたコストパフォーマンスのソリューションを提供します。SP-600Fウェハハンドラは、同時にウェハハンドリングを行うことができるデュアルアームシステムで、スループットの高速化と生産効率の向上を実現します。このユニットは、最大6個のウェーハを複数の内蔵カセットに一度に配置する超高スループット生産ラインでの使用を想定して設計されています。このマシンは、デュアルアーム設計、高速加速、高精度の位置決めを使用して、+/-0。1 mmの低い優れたレベルのウェーハハンドリング精度を提供します。ロボットの高度なモーションコントロール技術と直感的なプログラミングにより、両腕の同期移動を可能にし、スループットと精度を最適化します。STAR SP-600Fウエハハンドラには、衝突検出や機械的停止機構などの高度な安全機能も搭載しています。デュアルアームロボットは幅広い動作能力を持ち、定格ペイロードは最大8。8kg (19。4ポンド)です。ロボットの動作アーム速度は最大15台/秒で、高度なモーションコントロール技術により、正確で高精度なウェーハ処理を実現します。ウェハハンドラは、48mm〜200mmの有効なウェハサイズで、様々な真空ウェハハンドリングプロセスのニーズに適しています。すべての工業生産慣行に対応し、あらゆる環境での使用を簡素化するように設計されています。このツールには、診断、メンテナンススケジューリング、軌道メンテナンス、ロギングなどの複数の機能が付属しています。SP-600Fウェハハンドラは、正確なウェハハンドリングと位置決めを必要とする半導体やMEMS生産環境にとって、効果的で信頼性の高いツールです。使いやすいプログラミングと効率的なモーションコントロールシステムにより、高速スループットと高精度のウェーハ位置決め精度を実現します。アセットの機能と安全メカニズムは、現代の生産ニーズに最適です。
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