中古 STAR SP-450F #9176576 を販売中

STAR SP-450Fは、ウェーハ収率のデポジット処理用に特別に設計された先進的な半導体ウェーハハンドラです。本製品は、材料の取り扱いや成膜において、超精度・精度を提供するために活用することができます。SP-450Fは、均一な分布で最大450個のウェーハ/分の高速ウェーハ処理を行うことができます。自動ウエハアンロード機構を搭載しており、工程の手間を大幅に削減します。このデバイスは、ラウンド、スクエア、オクタゴンなどのさまざまなウエハータイプに適応するようにプログラムされています。さらに、STAR SP-450Fは、固体から粉末、スラリー、エピタキシャルまで、幅広い材料で動作することができます。SP-450Fは容易な操作および監視のためのタッチ画面インターフェイスそしてPLCを組み込みます。さらに、様々なウエハ形状やサイズを保持できるフレキシブルウェーハホルダーを搭載しています。超精密ブラシレスDCモータを使用した自動回転機構により、材料の正確な位置決めと一貫した成膜を実現します。安全性に関して、STAR SP-450Fには、エラーが検出された場合にプロセスを停止するオートシャットオフ機能など、多くの安全機能があります。言うまでもなく、危険処理における安全リスクの低減にもEN61010準拠しています。SP-450Fはまた、高速なプロセス変更をサポートしています。アライメント位置、堆積角度、ソフトウェアなどの必要な設定をすばやく正確に変更できます。これにより、ウェーハプロセスがより効率的になり、異なるプロセスを手動で構成する必要がなくなります。最後に、STAR SP-450Fは最高品質の基準を満たすように設計されています。高度な同期フィードバック制御システムを備えており、最高レベルの材料沈着とほこりのない作業環境を保証します。さらに、機械部品の最適な性能と信頼性の向上のために定期的なメンテナンスチェックが含まれています。