中古 STAR CYS-800FIII-12 #9176567 を販売中

STAR CYS-800FIII-12 Wafer Handlerは半導体産業で使用されるように設計された半自動、フル機能のウェーハ処理装置です。このシステムは、2インチから12インチのサイズの異なるウェーハを取り扱うことができ、コンパクトなメインフレームに収納されています。メインフレームは、最大12個のウェーハを同時にサポートするように構成することができ、ウェーハの取り扱いと処理に必要なすべてのコンポーネントが含まれています。本体の中核部品には、ウェーハを動かすコンベア機、パターン化されたウェーハを認識するためのビジョンツール、最大6種類のロボットアームを備えた産業用ロボット、ウェーハの温度を測定するためのパイロメーターなどがあります。このアセットには統合されたユーザーインターフェイスも含まれており、オペレータはウェーハ処理プロセスのすべての側面を監視、構成、制御することができます。このコンベアモデルは、プロセスとロボットアームの間でウェーハを輸送し、処理ステーションにウェーハを供給し、サイクルの終わりに冷却室に堆積させることができます。視覚装置は、ウェーハの表面を読み取り、パターンや形状を認識して欠陥ウェーハを検出することができます。ロボットアームは、6軸ロボットアームを装備し、正確な位置決めやピックアンドプレイス操作に使用できます。ピロメータは、チャンバー内の温度を測定するために使用され、ウェーハ処理プロセスを調整して最適化するために使用することができる任意の温度変動を検出することができます。さらに、システムには緊急停止やその他の安全チェックのための安全プロトコルが組み込まれています。CYS-800FIII-12 Wafer Handlerのコンポーネントの統合は、手作業の必要性を最小限に抑え、再現性と品質管理を確保し、ウェーハを処理する安全で信頼性の高い環境を提供するように設計されています。このユニットは、研究開発および生産レベルのアプリケーションでの大量のウェーハ処理に適しています。