中古 STAR CYS-600FA #9176564 を販売中

STAR CYS-600FAウェーハハンドラは、ウェーハ材料を確実かつ正確に処理するために設計された自動ウェーハ処理装置です。このシステムは、ウェーハを製造ラインに輸送、識別、ピッキング、配置するプロセスを管理するために使用されます。このユニットは、ウェーハの容量の広い範囲だけでなく、周辺機器のオプションの様々な最大の柔軟性を提供します。高精度な位置決めメカニズムにより、ウェハハンドリング面を正確に位置決めして搬送・配置することができます。ウェーハアライメント機能は、CCDカメラを使用してウェーハ上のフィデューシャルマーク、三角形、円を検出し、正確なリアルタイム配置を実現します。インライン処理速度は最大600個/分、インステーション処理速度は最大18個/秒です。CYS-600FAのもう一つの重要な特徴は、汚染管理ツールです。この資産は、高度なエアフィルター技術を使用して、ほこりや空気中の粒子などの作業環境からさまざまな種類の汚染物質を除去します。自動化された機器診断、強化された安全機能、内部監査記録システムも備えています。また、ウエハハンドリングに関する様々なオプションを装備しています。メカニカルハンドリング機能には、反転、回転、回転反転などがあります。それは異なったサイズの12までのウエハカセットを支えることができます。正確なハードウェアおよびアプリケーション要件に応じて、複数のマシン構成が利用可能です。STAR CYS-600FAは、長いサービス時間のために持続するように設計された堅牢なミル加工アルミ部品で作られています。これは、最も厳しい産業安全規格およびEMC規格に準拠しています。さらに、25mmピッチのローダー、ジグ、デバイスと互換性のある操作が簡単なツールです。全体として、CYS-600FAはインテリジェントで信頼性が高く、正確な自動ウェーハ処理資産であり、さまざまなウェーハ処理アプリケーションに適しています。高速転送速度、汚染制御機能、および信頼性の高い正確な結果を保証する安全機能を備えた高効率です。