中古 SHINKO SBX92101480-3 #293639851 を販売中

SHINKO SBX92101480-3 Wafer Handlerは、自動化を改善し、製造プロセスにおける労働要件を削減するために設計された、完全に自動化されたロボットウェーハ処理装置です。このウェーハハンドラは、直径9インチまでのウェーハを扱うように設計されており、単層およびデュアルレイヤーウェーハの両方に使用できます。このシステムは、超高真空レベルに到達することができ、400°Cまでの温度で動作することができます。このウエハハンドラは、一連のアクチュエータ、リニアモータ、カレントミラーを含む3軸モーションユニットを使用しています。高い精度と再現性で動作するように設計されています。ウェーハは真空チャックとチャックガスケットを使用して工具内に転送され、ウェーハはディフューザープレートと真空チャックの間を移動して速度と精度を確保します。ビジョンアセットにより、ローディングとアンロード時にウェーハが適切に整列されます。SBX92101480-3 Wafer Handlerは、独自のSHINKO SBC-Masterコントローラによって制御されます。このコントローラは、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供し、すべてのモデルパラメータを完全に制御します。ユーザーは、このマスターコントローラを使用して、ウェハローディングとアンロード、機器操作、および全体的なステータスを監視することができます。SHINKO SBX92101480-3 Wafer Handlerは、安全性とメンテナンスを念頭に設計されています。システムは保護エンクロージャに囲まれており、いくつかの安全インターロックと緊急シャットオフがあります。また、SBX92101480-3には自己診断機能とアラームユニットがあり、異常な状態が発生した場合にユーザーに警告します。SHINKO SBX92101480-3 Wafer Handlerは全体的に信頼性が高く、効率的で安全なロボットウェーハ加工機です。その高度なモーションコントロールツールは、正確で反復可能な操作を提供し、ユーザーフレンドリーなSBCマスターコントローラは、操作とメンテナンスを簡単にします。