中古 SHINKO LM-ARM-CONT2 #293622429 を販売中

SHINKO LM-ARM-CONT2は、半導体製造および研究用途向けに設計されたウェハハンドラです。このデバイスは、最適な環境条件で半導体ウェーハのローディング、アンロード、位置決めを自動化します。超高真空環境で動作し、直径が最大4インチの150mmおよび200mmウェーハを処理します。LM-ARM-CONT2の中心には、積み下ろし作業中にウェーハをスムーズかつ正確に制御できるように設計されたデュアルアームロボットがあります。2つの独立したモーターで駆動され、設置されたウェーハのパラメータに基づいて所定の動作を行う高感度の光学センサーが装備されています。このロボットは、カセットウエハやガラス基板など、さまざまな種類のウエハに対応するように構成することができます。さらに、ローディングまたはアンロード時にウェーハを2つの位置に回転させる機能があり、ウェーハへの潜在的な損傷を最小限に抑えます。SHINKO LM-ARM-CONT2の環境チャンバーは、-50°Cから500°C、 0。01 Torrから1気圧まで、幅広い処理温度と圧力設定を保証します。さらに、このデバイスには、安全で安全で信頼性の高い操作を提供する高度な制御システムが付属しています。制御システムには、ウェーハ前処理や後処理などのカスタマイズ可能な自動プロセスと、ウェーハの正確なアライメントのための高精度グリッドが備わっています。メンテナンス時間を短縮するために、LM-ARM-CONT2はロボットの長い寿命を保証する2つのメンテナンスフリー、非接触シールが付属しています。また、自動切断機能も備えており、脆弱なウエハを正確に切断することができます。最後に、オプションのミニバキュームコントロールシステムにより、ユーザーはウェーハ処理中に真空レベルを調整することができます。SHINKO LM-ARM-CONT2は、高いスループット、優れた精度、および最大限の柔軟性を実現するために設計された、汎用性と信頼性の高いウェハハンドラです。この効率的で信頼性の高いデバイスは、マルチベンダーインストールに簡単に統合でき、高度な生産および研究環境に最適です。