中古 SHIBUYA EH 182 #9283295 を販売中

SHIBUYA EH 182は、SHIBUYA Corporationが製造し、半導体およびウェーハ製造業界で使用するために設計したウェーハハンドラです。軽量で耐久性に優れたアルミ合金製の4接合式4軸ウェハハンドラです。最大4種類のウェーハを同時に搬送および整列するように設計されており、効率的な生産とスループットに最適です。A/B/C/Dとマークされた4つのウェーハサイトには、それぞれ独自の独立したセンサーと関連するデジタル出力があります。それぞれに高精度で高解像度の光学エンコーダとレーザーマイクロメータが貼り付けられており、正確なウェハ位置と位置決めが可能です。センサーは2mmから8mmのサイズの物体を検出することができ、1 µm未満の線形精度を持っています。このマシンには、高速かつ効果的なモーションコントロールを可能にする高性能の多軸4-DOFロボットアームが装備されています。これは、X方向とY方向の両方で50°の総移動範囲を提供し、Z軸で± 95°を提供します。パルスモーターと複数のリミットスイッチを内蔵しているため、速度と精度を最適化でき、ロボットアームには幅広い特殊なウェハハンドリングアクセサリーを取り付けることで、可能な限り最高の性能を発揮できます。EH 182は、さまざまなウエハサイズと基板に対応するように設計された堅牢で高性能なマシンです。最新のセンシングおよびモーションコントロール技術を統合し、競争力の高いコストで正確な配置と処理を保証します。最大積載能力は8kgで、毎分最大30サイクルの速度に達することができます。SHIBUYA EH 182は、真に信頼性と費用対効果の高いソリューションとして、半導体開発やウェーハ製造に最適です。