中古 SHIBUYA EH 182 #9268371 を販売中

SHIBUYA EH 182は半導体産業のために設計されたウェーハハンドラ機械です。高い精度とスピードでウェーハを加工するための信頼性と効率的な方法を提供します。高度なロボットアームを採用し、ウェハモニタリングシステムとリアルタイムプログラミング機能を備えています。このユニットは、効率的なウェーハ転送速度を1秒あたり最大28ウェーハで動作します。EH 182は150mmと200mmの両方のウェーハを扱っています。ウェーハ搬送、アライメント、試験、計量、張力制御、欠陥ウェーハ除去機能など幅広い機能を備えています。また、乾燥したベンチ環境と湿ったベンチ環境の両方で動作することができます。このツールは簡単に操作できるように設計されており、直感的なユーザーインターフェイスが含まれています。ロボットアームは、ウェーハを特定の場所に移動するようにプログラムすることができ、テストまたはプロセス操作を行うことができます。ウェーハの端のチッピングを検出するセンシングアセットを搭載しており、最適な性能と精度の調整が可能です。ロボットアームは、ウェーハ表面のピンホールやその他の欠陥を検出するためにも使用できます。SHIBUYA EH 182は、効率的で正確なウェーハ処理を実現するハイテク機です。その高度な機能と直感的なユーザーインターフェイスは、迅速かつ使いやすいです。高精度のアライメントと輸送能力により、あらゆる形状のウエハを正確かつ効率的に加工することができます。このモデルはCVDおよびRDLの両方の適用のために適しており、銅、タングステン、アルミニウム、およびGaAsのようなさまざまな材料を扱うことができます。また、ダイアタッチ、フローフィルム形成、ダイバックグラインドなど、さまざまな工程に使用できます。