中古 SHIBUYA EH 182 #9256965 を販売中

SHIBUYA EH 182は、最新の半導体製造分野で利用可能な最先端のウエハハンドラマシンの1つです。このウェハハンドラは、半導体部品を専門とする日本のエンジニアリング・製造会社であるSHIBUYA Kogyoによって開発されました。EH 182は、カセットからウェーハをウェーハエクスフォリエーションシステムにロードおよびアンロードするなどの機能を自律的に管理するように設計されています。また、個々のウェーハのヒーターやウェーハ製造用の炉への積み下ろしを制御するためにも採用されています。SHIBUYA EH 182ウェーハハンドラは、自動化されたメカニズムを利用して、精度と制御性を備えたウェーハを移動させます。ロータリーロボットマニピュレータアームを装備しており、ウェーハの静かで衝撃の少ないピックアップと回転を可能にします。ロボットアームには、ウェーハの積み降ろし作業をリアルタイムで監視できるビジョンシステムも装備しています。このマシンには、ウェーハとその環境の間の静的ビルドアップを軽減するための帯電防止デバイスシステム（ASDS）も装備されています。これは、プロセス間でウェーハを転送する際に特に重要であり、潜在的なショートを防ぎ、製造プロセスで使用される材料に影響を与える可能性があります。EH 182ウエハハンドラは、ウエハインターチェンジ環境を制御するための多彩な機能も備えています。ブラシレスモーターを搭載し、加速と減速を迅速に行うことができ、カセット間でのウェーハの迅速かつ信頼性の高い転送を可能にします。ロボットアームの温度はウェーハの破損や変形を防ぐために簡単に調整できますが、振動のない動きはマイクロマトリックスの混乱のリスクを最小限に抑えます。さらに、操作者がロボットアームに接触するのを防ぐためのメカニカルシールドなど、さまざまな安全機能が搭載されています。安全スイッチとセンサーがあり、望ましくない場所や環境の状態を検出します。危険が検出された場合、ウエハハンドラは製品の損傷を防ぐために直ちにシャットダウンします。結論として、EH 182ウェハハンドラは、繊細な半導体ウェハーを管理するための最先端の機械です。その高度な技術は、ウェーハの正確かつ信頼性の高い処理を保証し、オペレータに効率的で安全な生産環境を提供します。