中古 SHIBUYA EH 182 #9253526 を販売中
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SHIBUYA EH 182は、半導体加工の全自動ウェハハンドラです。高精度のウェーハハンドリングに特化した先進的なツールで、汎用性の高いデュアルステージデザインで、人間工学に基づいたカルーセルスタイルの操作で最大限の効率を実現します。EH 182には、2つの標準ステージ、1つの大型および1つの小型、および可変速度オプションが装備されています。カルーセルタイプの設計により、ウェーハインターフェースボードにすばやくアクセスできるため、メンテナンスが容易になり、ウェーハを処理段階に処理することができます。SHIBUYA EH 182は、ステージトランスファー時に最大1ミクロンの精度で200mmウェーハをサポートするように設計されており、プロセス中に貴重なデバイスを正確に取り扱うことができます。デュアルステージ設計により、大規模工程と小規模工程の両方で同時にウェーハ処理が可能になり、ダウンタイムを削減し、スループットと生産性を向上させます。また、自動化された方法で1時間あたり最大12個のウェーハを処理することができ、最適なプロセススループットを提供します。EH 182は、ウェーハスタッキング、ウェーハ測定、事前検査、溶接、試験、その他多くの関連プロセスを含む幅広いアプリケーションに対応しています。Windows OSとユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えたオンボードPCがあり、システムのセットアップとメンテナンスが簡単です。SHIBUYA EH 182は、高速リニアモータとアクチュエータを搭載し、優れた性能と高速サイクルタイムを提供します。また、自動ウェーハチャッキングシステムを搭載しており、ステージ間のウェーハの高速搬送を可能にします。さらに、EH 182はビジョンベースのウエハオリエンテーションシステムを備えており、信頼性とエラーのない操作を可能にします。SHIBUYA EH 182は、要求の厳しいアプリケーションにおいて優れた性能と信頼性を提供する最先端のウエハハンドラです。その先進的な設計、堅牢な部品、およびユーザーフレンドリーな機能により、半導体製造に理想的な選択肢となり、コンパクトで耐久性のあるパッケージで優れた精度と優れたスループットを提供します。
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