中古 SHIBUYA EH 182 #293585948 を販売中

SHIBUYA EH 182は、半導体ウェーハの自動積み降ろし用に設計された高性能ウェーハハンドラです。主に半導体製造プロセスで使用され、エッチャー、拡散炉、フォトリソグラフィーチャンバーなどのプロセス領域にウェーハカセットまたはフロントオープンカセット（FOC）を転送します。EH 182は8インチ、200 mm、 300 mmウェーハのFOC機能を備えており、一度に最大8つのカセットを扱うことができます。SHIBUYA EH 182は、ロボットアーム、リフティングモーター、ベアリングギアなどの主要部品で構成されています。ロボットアームはバッファからロボットにカセットを移すように設計されており、左モーターはロボットアームを持ち上げるように設計されています。軸受けギヤはカセットの処理の間に滑らかなロボット動きのために使用されます。EH 182は、クラムシェル、フロントオープン、ラウンドシャトルの3種類の転送タイプで構成されています。このクラムシェル搬送により、SHIBUYA EH 182はウェーハと基板を内部処理室に正確に配置することができ、フロントオープン搬送はチャンバー間をカセットで行き来することができます。ラウンドシャトル転送は、ツール間でカセットを輸送するために使用され、複数のルーティングパスと複数のカセットの同時移動を可能にします。転送機能に加えて、EH 182は、ウェハピックアップおよび配置ステップ中に欠陥がないかどうかを確認する高度なビジョン機能も提供します。この機能は、潜在的な損害に対するさらなる保護を可能にします。SHIBUYA EH 182は、簡単なセットアップや手動コマンドなどの自動化プロセスを容易にするためのユーザーフレンドリーな機能を備えています。内蔵のインテリジェンスにより、EH 182は最小限のユーザーインターフェイスを持つタスクに適切に反応することができます。SHIBUYA EH 182は、スムーズで正確、再現性のあるロボットモーションを提供する信頼性の高い高性能ウエハハンドラです。高度な機能とカスタマイズ機能により、自動化と手動の両方の環境に最適です。EH 182は、コスト効率の高い設計と組み合わせることで、半導体のハンドリング要件に最適なソリューションです。