中古 SEIKO SEIKI D-Tran #9214878 を販売中

SEIKO SEIKI D-Tranは、ウェーハ基板の搬送プロセスを簡素化し最適化するために設計された技術的に高度なウェーハハンドラです。このツールは、汚染を低減し、効率を高め、基板の生産スループットを向上させるために半導体製造設備で使用されています。非接触移動技術とリニアモータ駆動により0。3ミクロンの繰り返し精度を実現し、ウェーハや薄膜の精密かつ効率的な移動を可能にします。D-Tranは、ダイアタッチメント、ウェーハボンディング、その他の自動プロセスなどのタスクに最適です。コンタミネーションを排除し、クリーンな動作環境を提供しながら、時間とスペースを削減するシングルアーム移動機構を採用しています。技術的な特徴としては、モジュラーベースプレートと柔軟なツールアセンブリがあり、多様な構造とサイズのさまざまな基板をシームレスに処理できます。SEIKO SEIKI D-Tranは、6軸ロボット装置で設計されており、生産設備の正確な要求を満たす特殊モジュールを使用して、あらゆる方向に基板を転送する際の完全な柔軟性を可能にします。正確で高速な真空システムにより、汚染を最小限に抑え、ウェーハや薄膜を確実に伝送し、ずれの可能性はありません。高品質に加えて、D-Tranは完全なシステム統合と互換性を提供する信頼性の高いツールです。このユニットにはPIDベースの制御機が装備されており、温度、圧力、速度の変動を最小限に抑え、ツール全体の正確で信頼性の高い動作を可能にします。最後に、セイコーセイキD -Tranは、費用対効果の高い高速生産作業用に設計されています。それは容易な取付け、維持および操作のために設計され、設備投資か主要な変更を要求しないで既存の生産ラインに統合することができます。運用の安全性と信頼性を確保するため、D-TranはSEMI標準ガイドラインに準拠して設計されています。