中古 SANKYO SR8240-0002CCR #9296842 を販売中

SANKYO SR8240-0002CCRは、高精度プロセスとハンドリングのニーズに合わせて設計された先進的なウエハハンドラマシンです。2軸動作装置X-Y-Z、負荷輸送システム、最大200mmまでのウェーハ処理用の真空チャックを搭載しています。2軸X-Y-Z運動ユニットは、± 0。01mmの解像度で連続移動が可能な2つの線形軸XとYで構成されています。モーションマシンには、180°の回転が可能なK軸も搭載されており、ウェーハの位置とホールドを向上させます。バキュームチャックは、ウェーハチャックアウト力の精度を制御する内蔵ブラシレスDCモータを搭載し、チャックは最大200mmの大容量でフォースフィードバックでウェーハを保持して解放することができます。また、SR8240-0002CCRは、リニアX -Yモーションステージに取り付けられたメカニカルシャトルアームと、ウェーハの位置を移動しながら搬送およびサポートするいくつかのコンポーネントで構成される負荷輸送ツールを備えています。シャトルアセットは、ウェーハのインフィードおよびアウトフィードに使用でき、ウェーハの正確な取り扱いと配置を保証します。この機械はいろいろなプロセスおよび処理の必要性のための安全そして信頼性を保障するように設計されています。安全を確保するため、ウェハハンドリング装置が正しい動作位置にない場合にトリガーされる安全インターロックモデルが装備されています。さらに、機械のセットアップ、操作、メンテナンス中に、動作コンポーネントの予期せぬ動きを監視および防止するためのアンチアフィニティシステム（AAS）が装備されています。全体的に、SANKYO SR8240-0002CCRは、正確なプロセスと処理機能を提供する汎用性と信頼性の高いウェハハンドラです。2軸のX-Y-Zモーションユニットとロードトランスポートマシンにより、大きなウェハをスピードと精度で取り扱うことができます。