中古 SANKYO SC5000 #9192522 を販売中
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販売された
SANKYO SC5000は、ウェーハ加工装置と組み立て用に設計されたモジュール式ウェーハハンドラです。高度な設計により、多数のウェーハサイズをサポートする一連のカートリッジを取り付けることができます。これには、200mm、 150mm、 100mmのウェーハが含まれます。ウェハハンドラは高い設定性と柔軟性を備えているため、前処理と後処理の両方のウェハーを迅速に配置できます。ウェハハンドラの中心SC5000は、リニアモータがあります。これらの強力なコンポーネントは、非常に高速で一連の精密ベアリングに沿ってウェハキャリッジを駆動することができます。さらに、これらの高精度コンポーネントは、ウェーハキャリッジの位置を機内制御装置に迅速に通信することができます。制御システムは、ウェーハキャリッジの位置を正確に調整して、ウェーハを正確に配置することができます。また、オンボードのdiametricおよび高速画像キャプチャマシンも備えています。これにより、ウェハの欠陥やその他の不規則性を検査することができます。このツールによって検出された欠陥は、製造プロセスを最適化し、ウェーハの品質に関するデータをオペレータに提供するために使用できます。さらに、画像キャプチャアセットは、ウェーハ上に存在するさまざまな機能をマッピングするために使用できるデータの抽出を可能にします。SANKYO SC5000は、ウェハを確実に動かすために、密閉型のスタティックフリー環境も備えています。この環境は、一連のエアフローファンによって生成され、ウェハを静的から解放します。高度な洗浄アルゴリズムと組み合わせることで、ほこりなどの粒子状物質がウェーハ表面に落ち着きにくくなります。SC5000は、幅広い用途で使用できる優れたウエハハンドラです。これは、オペレータに信じられないほどの速度でポイントAからポイントBに正確にウェーハを移動できる信頼性の高いモデルを提供します。さらに、静的フリー環境とオンボードイメージキャプチャ装置により、あらゆるウェーハ処理システムにとって貴重なコンポーネントとなります。
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