中古 RUDOLPH / AUGUST WHS #9315424 を販売中

RUDOLPH/AUGH WHS （Wafer and Mask Inspection Equipment）は、半導体ウェハとフォトマスクの両方を迅速かつ正確に検査および評価するために設計された自動光検査システムです。このユニットは、最先端の自動画像解析技術を使用して、壊れたライン、粒子の汚染、傷、ストリーク、バリなどの不均一性をウェーハとマスクの両方で迅速に検査します。このマシンは、欠陥診断を容易にするために、患部の画像とともに検出された欠陥の迅速かつ詳細な説明を提供します。このツールは、2つの高解像度、高速カメラを備えた完全に自動化された光学検査テーブルで構成されています。両カメラとも、ウェーハやマスク表面からの画像撮影が可能で、検査対象物の表面形状を詳細に視覚的に把握することができます。カメラのレンズや視野を調整できるため、幅広いウエハやマスクの種類を素早く正確にスキャンすることができます。カメラ画像を制御装置で解析し、情報を極めて高速に処理できるデュアルコアプロセッサです。このプロセッサは、画像メモリにデータを送信することもでき、その逆も可能であり、効率的で信頼性の高い画像ストレージを可能にします。AUGH WHSにはウェーハステージも装備されており、ウェーハまたはマスクの両側から撮影した画像を正確に登録しながら、検査テーブルの片側からもう一方に素早くウェーハやマスクを移動させることができます。また、高解像度イメージビューアやレポートジェネレータなど、カメラから撮影した画像を簡単に閲覧し、検査結果の詳細なレポートを作成できるユーザーツールも多数搭載しています。全体的に、RUDOLPH WHSは、欠陥、粒子、傷、およびその他の非均一性のためにウェーハとマスクの両方を迅速かつ正確にスキャンすることができる高度で包括的な光検査装置です。このシステムには、2つの高速カメラ、ウェーハステージ、デュアルコアプロセッサ、および製品の欠陥と品質保証のための便利で信頼性の高いプラットフォームを提供する強力なレポート生成エンジンが装備されています。