中古 RUDOLPH / AUGUST WHS #9254919 を販売中
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RUDOLPH/AUGUST WHSは、自動ウェハテスト用に特別に設計されたウェハハンドラです。生産ライン設定における試験ウェーハの速度と精度を向上させるように設計されています。このハンドラは、複数のウェーハを同時にテストできる独自の垂直設計を採用しており、従来のウェーハハンドラよりも高いスループットを実現しています。AUGH WHSは、ハンドラーベース、上位プラットフォーム、ウェーハトランスファーカップ、ウェーハトランスポートアームの4つの主要コンポーネントで構成されています。ハンドラーベースは、機器全体の動作を制御する責任があり、ウェーハ処理プロセスを制御するためのコンピュータシステムを収容します。また、システムのコンポーネントの安定化とサポート、電源および通信回路も含まれています。上部プラットフォームは、実際のウェーハテストが行われる場所です。ウェーハの特性を測定するためのウェーハカップ、光源、各種センサーを備えた回転式プレートで構成されています。ウェーハトランスファーカップは、ウェーハハンドラとテスターの間でウェーハを転送するだけでなく、テストステーションに運ぶための責任があります。ウェーハトランスポートアームは、ワッファーをテストプラットフォームにピックアップして配置する責任があります。ウエハハンドラは、柔軟な設計のため、さまざまなサイズのウエハをテストすることができます。また、セルフテスト機能が内蔵されており、ユニットの動作中にエラーが発生する可能性があります。さらに、オンザフライの変更やテストが可能で、生産ライン環境での使用に適しています。また、複数のウェーハテストを提供し、複数のウェーハの高速テストを可能にします。全体的に、RUDOLPH WHSは、さまざまな設定で自動ウェーハテストに最適です。ウェーハテストの速度と精度を向上させると同時に、オンザフライでの変更やテストを可能にします。ハンドラーはまたプロセスの安定性を保障し、間違いの可能性を減らします。これにより、新しいユーザーや経験豊富なユーザーにとって理想的な選択肢となります。
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