中古 RUDOLPH / AUGUST WHS #9234775 を販売中

RUDOLPH/AUGUST WHSは、クリーンルーム環境内でウェーハを輸送および操作するために使用される最先端のウェーハハンドラです。このデバイスは、安全で信頼性の高い効率的な方法でクリーンルーム環境内でウェーハを輸送することができるため、半導体デバイス製造に特に役立ちます。AUGH WHSは、最高レベルの精度と信頼性を提供する高度に自動化されたウェハハンドラです。このデバイスは、統合されたコンベア装置で構築され、ダブルトラック設計が特徴です。これにより、デバイスは一度に複数のウェーハを処理することができ、ウェーハが完全に整列したままになります。また、クローズドループ制御システムを備えており、ウェーハの搬送プロセス全体にわたって常に正確に中央に配置されていることを保証します。RUDOLPH WHSはまた、輸送中に粒子や他の汚染物質をウェーハから遠ざけるように設計されています。複数の高効率粒子空気（HEPA）フィルタを使用し、空気中のほこり、粒子、その他の汚染物質を効果的に除去する真空ユニットを使用しています。これにより、作業エリア内のクリーンな環境を維持し、汚染物質がウェーハに接触しないようにすることができます。この機能により、WHSは多くのクリーンルーム認証の厳しい要件を満たすことができます。RUDOLPH/AUGUST WHSは、ウエハハンドリングプロセスを最適化するように設計された先進的なソフトロボットも備えています。これらのロボットは、複雑なアルゴリズムと特殊なセンサーを使用して、潜在的な損傷を引き起こすことなく、ウェーハを正確に安定化して移動させます。このマシンには、次のプロセスに最適な構成でウェーハを整列させる洗練されたウェーハオリエンテーションツールも含まれています。さらに、AUGH WHSは稼働時間を最大化し、メンテナンスコストを削減するように設計されています。これは、潜在的な問題を識別するための統合診断センサーの数を持っています、だけでなく、簡単なメンテナンスと修理を可能にするユーザーフレンドリーなリモート監視資産。RUDOLPH WHSは、あらゆる半導体デバイス製造施設にとって貴重な資産です。それは非常に信頼性が高く、正確で、自動化されており、最高レベルのクリーンルーム認証コンプライアンスを提供します。WHSは、高度なウエハハンドリング機能により、製造効率の向上、コストの削減、最適な生産レベルの維持に役立ちます。