中古 RUDOLPH / AUGUST WHS #293635033 を販売中

RUDOLPH/AUGUST WHSは、半導体製造プロセスで使用するために設計された自動ウェハハンドラです。メインコントロールユニット、入出力制御ユニット、ロボットアーム、各種コンベア、シャトル、プラスチック部品から構成される一貫した装置です。このウェーハハンドラシステムは、さまざまなサイズのウェーハをピックアップ、輸送、配置し、製造プロセスのさまざまな段階を通じてそれらを処理するように設計されています。AUGUST WHSの主制御ユニットは、ユニット全体を制御し、その性能と精度を監視する責任があります。フロントパネルにデジタルディスプレイを備えており、ユーザーがマシンを管理するのを支援します。ユーザーは、パラメータの設定、プロセスの開始と監視、速度の調整、生産データの監視を行うことができます。入出力制御ユニット（IOCU）を使用して、各ウェハ転送に必要な正確な位置にロボットアームを指示します。エンコーダ、センサー、その他のデータ入力を利用して、ウェハ転送の正確な移動を保証します。RUDOLPH WHSのロボットアームは、このツールの重要なコンポーネントであり、生産資産全体にわたって迅速かつ正確かつ安全にウェーハを輸送する責任があります。精密サーボモータとドライブエレクトロニクスを組み合わせて設計されており、アームの正確な移動を可能にします。これにより、ウェーハをコンベアベルトに正確に配置し、目的のプロセスステーションに正確な精度で配置することができます。さらに、WHSには、ウェーハを効率的にモデル内のロケーション間で移動するように設計されたさまざまなコンベアとシャトルが装備されています。高品質のプラスチック部品で構成されており、半導体製造環境の厳しい環境にも耐えることができます。コンベアには、人員の安全を確保するための安全機能が装備されています。最後に、RUDOLPH/AUGUST WHSには高度なプログラミングが搭載されており、ユーザーはニーズと異なる製造プロセスの要件に基づいてコマンドと設定を変更することができます。これらの変更は迅速かつ簡単に行うことができ、ウェーハハンドラは多種多様な生産プロセスで利用できるようになります。これにより、AUGUST WHSは多くの半導体生産システムで求められているデバイスとなります。