中古 RUDOLPH / AUGUST WHS 300MM #9401134 を販売中

RUDOLPH/AUGUST WHS 300MM Wafer Handler （WHS）は、超大型集積（ULSI）回路の製造用に設計されたロボットピックアンドプレイスハンドラです。この広範囲のハンドラは、1つの加工ステーションから次の処理ステーションに300mmウェーハを輸送することができ、高品質の製品を効率的かつ正確に生産することができます。WHSは、3軸構成で動作可能なデュアルロボットアームを備えており、正確なモーションコントロールが可能です。ロボットアームは2つの独立したモーターを備えており、ウェーハの2段階の処理を可能にします。WHSには最新の真空センサーと圧力センサーが搭載されており、配置と動きに絶対的な精度を与えます。豊富な高度なソフトウェアオプションにより、あらゆる種類のウェーハを正確かつ再現可能に処理できます。WHSは、200ミクロンと1。2ミリメートルのウェーハ厚を認識し、処理することができます。これにより、再現可能な配置精度が可能になり、任意の時点での配置ミスによるコストと無駄を削減できます。WHSは直感的なインターフェースを備えており、システムからの切断なしにプログラムの検索と変更を可能にします。この機能により、生産のリアルタイム制御も可能になり、統計制御サイトがユーザーから干渉することなく指示を与えることができます。このシステムはさらに、LDIEやNIEなどの標準的なULSI機器で動作するように設計されています。WHSは441 x 672 x 953 mmで、重量は750kgで、大部分の生産設備と互換性があります。サイズは、オペレータの人間工学を考慮しながら、最大の生産性を確保するように設計されています。WHSは信頼性が高く効率的であり、最も過酷な作業環境でも問題なく継続的に動作できます。WHSは、最大50個のウェーハを保持するように設計されており、1時間あたり最大160個のウェーハの処理速度を誇っています。広範な設計機能により、常に正確さと最適な性能が保証され、生産歩留まりが損なわれることはありません。さらに、WHSには内蔵の安全システムが付属しており、オペレータは操作を快適に監視し、必要に応じて簡単に介入することができます。AUGH WHS 300MM Wafer Handlerは、ULSIウェーハを1つのステーションから次のステーションに効率的に輸送し、製造プロセスの各ステップを絶対的な精度で導くため、現代の生産ラインに不可欠な機器です。その特徴は、高品質で厳格な基準を必要とするあらゆる生産ハウスにとって非常に貴重な資産です。