中古 RUDOLPH / AUGUST SWS #9235595 を販売中

RUDOLPH/AUGUST SWS （Substrate Wafer Equipment）は、AUGH Technologies社が製造するウェハハンドラです。自動スリット開口ロボット2台、両幅ウェーハローダー1台、トランスファーロボット1台、チャンバーを備えたアンロードステーションで構成されています。AUGH SWSの二重幅ウェーハローダーは、最大2インチの幅の大型ウェーハに対応するように設計されています。ローダーは、4、5、6インチウェーハの両方に対応でき、信頼性の高い供給のためのモジュラーインデックス機構を備えています。このシステムで使用される搬送ロボットは、2つのリニアロードアームで構成されており、SPECTROまたは他の加工機へのウェハの連続供給を容易にします。搬送ロボットには、搬送時のウェーハ損傷を防止する安全装置が装備されています。2つの自動スリット開口ロボットは、ウェーハに均一なサイズと品質のスリットをロードするのに役立ちます。ウェーハの完全性を維持しながら、0。05インチまでの様々な幅と深さのスリットをキャプチャするように設計されています。各ロボットには可変出力ドライブと安全インターロックが用意されており、ウェーハのロック解除手順の期間を制限します。このユニットには、加工機の間にウェーハを積み降ろすのに適したチャンバーも用意されています。この部屋は調節可能な変数を特色にし、汚染を防ぐのに有効です。結論として、RUDOLPH SWSは手動と自動化されたプロセスの両方のために設計されたウェハハンドラです。二重幅のウェーハローダー、2つの自動スリット開口ロボット、搬送ロボット、および処理機間のウェーハの積み降ろしに適したチャンバーを備えています。これらのコンポーネントを組み合わせて、最高品質のスリットで均一性を提供できる信頼性の高い効率的なウェーハハンドリングマシンを作成します。