中古 RORZE RSR160 #9281343 を販売中

RORZE RSR160は、ロボットベースのデュアルレーン自動ウェハハンドラです。シリコンウェーハの効率的で信頼性の高い搬送を実現するとともに、汚染や粒子の汚染を最小限に抑えます。RSR160は、ロボット機器、マテリアルハンドリングシステム、電力供給の3つの主要コンポーネントで構成されています。ロボットユニットには、2つのRZ-5Xロボットと2つのデュアルレーン周囲レールが装備されています。ロボットと周辺レールは、ステーション間でウェーハを転送するために一緒に接続されています。材料の処理機械は2つの高速摩擦ローラーおよび4つのコンベヤーベルトから成っています。ローラーとベルトコンベアは、ウェーハをロボットツールからプロセスステーションの他のコンポーネントに転送する責任があります。この電源は、外部電源によって供給される統合された低ノイズDCbrushlessモータです。RORZE RSR160は、プロセス・ステーションからのウェーハ転送信号を迅速かつ適切に認識し、応答するために特別に校正されています。ロボットアセットを活用して、異なるサイズや形状のウェハを正確に運び、ソートすることができます。さらに、このモデルには、高精度ビジョンガイドのピック&プレス操作用の内蔵ビジョン機器を提供することができます。デュアルレーンコンベアシステムは、ウェーハの平面が常に上部レールに平行であることを保証するために特別に設計されており、ウェーハとロボットのピックアップアーム間の正確な平行アライメントを可能にします。統合された電源により、ロボットのスムーズな動作が保証され、アイドル時間とサーボアウトオブレンジ条件のリスクを最小限に抑えます。RSR160は、エッチング、クリーニング、研磨、テスト、修理など、さまざまなウエハ加工装置と互換性があります。このユニットは、既存のウェーハ処理システムと迅速かつ容易に統合されており、また、新しい特定の要件に対応するために適応することができます。また、ウェーハへのダストを最小限に抑えるように設計されています。ウェーハを空気中の粒子から保護する防塵シールと、空気中の粒子を集める集塵ボックスを備えています。結論として、RORZE RSR160ウェーハハンドラは、ウェーハを効率的に処理するための堅牢で信頼性の高いソリューションです。それは費用効果が大きく、統合し易く、移動の間に粒子、塵および汚染を減らすことできる。デュアルレーンの軽量設計によりモバイル化され、高度なビジョンツールにより正確な位置決めが容易になります。全体として、RSR160は効率的で安全なウェーハ処理のための優れた選択肢です。