中古 RORZE RSC222 #9397075 を販売中

RORZE RSC222は、半導体業界における精密かつ繊細な動作を可能にするウェーハハンドリングロボットです。高度なロボット制御技術と、さまざまなサイズ（直径8インチまで）のウェーハを移動し、最大6つのウェーハを同時に処理できるウェーハ処理装置を備えています。ウェーハの移動・整列時に高い位置精度を維持することができます。RSC222は、3つの自由度を備えた柔軟なロボットアームと、正確な動きのための統合されたリニアスライドを備えています。このロボットアームは、3軸（z軸）の周りを回転しながら2軸で水平および垂直に移動し、6軸の動作をサポートすることができます。移動速度は0。1 µm刻みで調節可能で、速く、正確な動きを可能にします。また、サーボモータを搭載し、ピークスピード1000mm/sで高速かつスムーズな動作を可能にします。RORZE RSC222は、最大移動速度250mm/s、加速度400m/s2の高速ウェハハンドリングユニットを採用しています。このマシンはまた、一貫したウェーハ転送と移動を提供する堅牢なサーボコントローラを備えています。コントローラは、ウェーハをウェーハストレージチャンバーとの間で転送する際に、迅速かつ正確な動作を可能にします。また、RSC222のウエハハンドリングツールには、ウエハーの検出と正確な位置決めを可能にする統合ビジョンアセットが装備されています。このモデルはまた、ウェハの認識と追跡に強力な近赤外線レーザーを使用しています。これにより、ロボットとの間で信頼性の高い均一なウェーハ転送が保証されます。全体的に、RORZE RSC222は強力で詳細なロボット制御装置を備えた高度なウエハハンドリングロボットです。半導体業界で必要とされる精度と精度で一貫した高速ウェーハ転送を提供しながら、最大直径8インチのウェーハに対応できます。