中古 RORZE RR8131-005-001 #293622755 を販売中

RORZE RR8131-005-001は、半導体装置およびその他の精密プロセス用の多軸ウェハハンドラです。極めて高い精度と信頼性が必要なアプリケーションに最適です。直径0。5mm〜0。9mmの厚さで、ウェーハを3「〜8」まで搬送・取り扱いが可能です。ウェーハの転送速度と加速/減速は調整可能で、重量はわずか12。6kgです。RR8131-005-001は4軸回転メカニズムを内蔵しており、非常に高い精度でウェーハを移動・整列させることができます。この機能により、12インチウェーハは0.1µmの許容範囲内に配置されます。また、4軸回転により、X、 Y、 Zの3つの軸でウェーハを動かすことができます。さらに、このモデルには、粒子や破片からの汚染を防ぐためのベロウインターロックが含まれています。また、ウエハハンドラは、静電ダメージからユニットを保護するESD保護機能を備えています。標準構成には、作動中の空気の流れを監視するための内蔵のエアフローチェック機能が含まれています。ウエハハンドラの状態はUSB接続で監視できます。RORZE RR8131-005-001にはグリッパー制御用の電動アームが装備されており、ウェーハの正確な位置決めのための正確で安定したモーションコントロールが可能です。また、フォースセンシング機能を標準装備しており、経時的な力の変化を検出し、予期しない負荷を検出してウェーハの正確な取り扱いと位置決めを保証します。それはまた使いやすく維持するように設計されています。このモデルは、ユーザーフレンドリーなインターフェースと組み込みのティーチング機能を備えており、余分なプログラミングを必要とせずに簡単に操作できます。また、付属のメンテナンスキットにより、必要に応じて部品の交換が容易になります。全体として、RR8131-005-001は高精度で信頼性の高いウェーハハンドリングアプリケーションに最適なツールです。その高度な機能と堅牢な設計により、あらゆる半導体やその他の精密プロセスに最適です。