中古 RORZE RR721L292H-H30-1CA-3 #293623536 を販売中

ID: 293623536
ヴィンテージ: 2000
Robot 2000 vintage.
RORZE RR721L292H-H30-1CA-3は、工業生産プロセスで使用される高精度のウェハハンドラです。この自動化された装置は、さまざまなウエハサイズ、形状、および材料を極めて精密に保持、転送、およびハンドリングすることができます。ビジョンシステムと「C4」フォーカスイオンビーム(FIB)技術を活用して、RR721L292H-H30-1CA-3は正確にウェーハを「ナノメトリック」精度で検出、認識、移動、整列させることができます。RORZE RR721L292H-H30-1CA-3のボディは、ウェーハハンドラ自体とC4フォーカスイオンビーム技術の2つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハハンドラユニットには「nck」 (Near Constant Kinetics)ウェーハ位置決め技術が搭載されており、3軸(x、 y、 z)でウェーハアライメントを正確に制御できます。サーマルサーボコントロールも装備しており、使用中のウェハの温度を微調整します。さらに、このユニットには10個の拡張温度センサーが装備されており、発生する可能性のある熱転移を調節します。RR721L292H-H30-1CA-3内のC4フォーカスイオンビーム機構は、ウエハーの異なるサイズや材料を扱う場合にナノメートルレベルの精度を達成することができます。このマシンは、4インチ、5インチ、6インチ、8インチ、12インチのウェーハなど、さまざまなウェーハサイズに対応できます。外付け電源を必要とせずにウエハハンドリングが可能な「Grasp OTM」技術を搭載しています。さらに、このツールは、ウェーハの変形やずれを検出し、所望の精度を達成するために必要な調整を行うことができます。RORZE RR721L292H-H30-1CA-3は、わずかな誤差なく「ゼロ寸法公差」でウェーハを処理するように設計・製造されています。ビルトインビジョンアセットを使用して、オブジェクトを検出して認識し、目的の方向に素早く安全に移動します。さらに、幅広い産業プロセスを自動化し、生産と品質を向上させることができます。RR721L292H-H30-1CA-3には、真空最適化とイオンビーム最適化も装備されており、ウェハの物理特性に応じて動作を最適化することができます。全体的に、RORZE RR721L292H-H30-1CA-3は、薄膜成膜やデバイス製造などの集中的な作業に適したハイエンドウェハンドラです。その優れた精度、高度な設計、異なるサイズ、形状、および材料を処理する能力は、産業製造プロセスに理想的なマシンになります。
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